DQ-RM 150

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DQ-RM 150
加工曲面類型	除常規(guī)非球面外,可加工高陡度及非常規(guī)光學(xué)元件
加工軌跡	光柵軌跡、隨機(jī)軌跡(選配)
加工口徑	30-150mm
加工工件外形	圓形、橢圓形、矩形及任意多邊形
加工材料	K9(BK7)、熔石英、ULE、微晶、硅、碳化硅、鎳磷合金等
加工精度	面形精度RMS≤5nm,表面粗糙度Ra≤2nm(超光滑液Ra≤0.5nm)
設(shè)備特點	利用機(jī)械臂高速靈活等特點與相位偏折檢測技術(shù)結(jié)合,實現(xiàn)超高加工、檢測閉環(huán)效率,適合小口徑非球面批量加工及非常規(guī)光學(xué)元件的單件加工

設(shè)備配置
拋光輪模組	MRF160,MRF80,MRF50(配備快換系統(tǒng)后可互換)
光學(xué)元件快換系統(tǒng)	重復(fù)定位精度優(yōu)于5μm,適合批量加工，與Satisloh、Optotech、LuphoScan等設(shè)備通用
相位偏折檢測系統(tǒng)	與小型機(jī)械臂配合使用,可實現(xiàn)在線加工檢測功能